超纯水系统工艺及应用

超纯水系统(又称超纯水设备)(制取纯水的装置)工艺

超纯水设备/EDI超纯水技巧普通工艺流程
(水质合适美国ASTM标准，电子部超纯水水质标准（18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四级) 。

超纯水设备/超纯水技巧/EDI典范工艺
原水→预处理→反渗透→EDI装置→紧密过滤→用水点
预处理－反渗透－两头水箱－水泵－稠浊床－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器(操纵紫外线灯管辐照强度形成微生物的灭活,从而达到消毒目标的装置)－精制
混床－紧密过滤器(或称保安过滤器)－用水点
预处理－一级反渗透－加药机（ PH调节）－两头水箱－第二级反渗透－纯化水箱－纯水
泵－紫外线杀菌器(操纵紫外线灯管辐照强度形成微生物的灭活,从而达到消毒目标的装置)－0.2或0.5 μ m紧密过滤器(或称保安过滤器)－用水点
预处理－反渗透－两头水箱－水泵－ EDI装置－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器(操纵紫外线灯管辐照强度形成微生物的灭活,从而达到消毒目标的装置)－0.2
或0.5 μ m紧密过滤器(或称保安过滤器)－用水点
预处理－反渗透－两头水箱－水泵－ EDI装置－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器(操纵紫外线灯管辐照强度形成微生物的灭活,从而达到消毒目标的装置)－精
制混床－0.2或0.5 μ m紧密过滤器(或称保安过滤器)－用水点

超纯水设备/EDI超纯水技巧应用处合
半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路；
超纯材料和超纯化学试剂；
实验室和中试车间
汽车、家电表面抛光处理；