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在净化水系统在最后出水环节中会设置杀菌消毒的设备，主要是对水质进一步的深度杀菌消毒处理，一般会采用紫外杀菌或是臭氧杀菌技术。 

大型臭氧发生器杀菌技术主要通过破坏病毒的DNA和RNA，可以导致细菌的细胞膜通透性增加，细胞内物质外漏，从而使细胞失活，达到杀菌的功效。酶是细胞存活的元素，臭氧可以使酶失活，可达到抑菌的目的。